하전 입자빔 묘화 장치 및 하전 입자빔 묘화 방법

Charged particle beam drawing device and charged particle beam drawing method

Abstract

본 발명의 일실시예에 따른 하전 입자빔 묘화 장치는, 시료를 외부로부터 도입하기 위하여 설치되고, 대기 상태와 진공 상태를 전환하는 것이 가능한 로드록 챔버와, 이 로드록 챔버와 연통 가능하며, 상기 시료의 반송을 행하는 반송 챔버와, 상기 반송 챔버와 연통 가능하며, 상기 시료를 수납하고 복사에 의해 상기 시료의 온도를 제어하는 온도 조정용 용기와, 상기 온도 조정용 용기의 온도를 제어하기 위한 온도 조정부를 가지는 항온화 챔버와, 상기 반송 챔버와 연통 가능하며, 항온화된 상기 시료에 대하여 묘화를 행하는 묘화 챔버를 구비한다.

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